Communication Dans Un Congrès
Année : 2008
Salah Bourennane : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00311887
Soumis le : jeudi 21 août 2008-23:39:34
Dernière modification le : mercredi 10 janvier 2024-10:29:53
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00311887 , version 1
Citer
Rodolphe Sabatier, Caroline Fossati, Salah Bourennane, Antonio Di Giacomo. An efficient method for transfer cross coefficient approximation in model-based optical proximity correction. SPIE Symposium on Photomask Technology, 2008, Monterey, California, United States. ⟨hal-00311887⟩
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