An efficient method for transfer cross coefficient approximation in model-based optical proximity correction - Ecole Centrale de Marseille Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2008

An efficient method for transfer cross coefficient approximation in model-based optical proximity correction

Rodolphe Sabatier
  • Fonction : Auteur
Institut FRESNEL
Caroline Fossati
  • Fonction : Auteur
Institut FRESNEL
Salah Bourennane
Institut FRESNEL
Antonio Di Giacomo
  • Fonction : Auteur

Domaines

Traitement du signal et de l'image [eess.SP] Micro et nanotechnologies/Microélectronique Traitement du signal et de l'image [eess.SP]

Salah Bourennane  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00311887

Soumis le : jeudi 21 août 2008-23:39:34

Dernière modification le : mercredi 10 janvier 2024-10:29:53

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00311887 , version 1 (21-08-2008)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00311887 , version 1

Citer

Rodolphe Sabatier, Caroline Fossati, Salah Bourennane, Antonio Di Giacomo. An efficient method for transfer cross coefficient approximation in model-based optical proximity correction. SPIE Symposium on Photomask Technology, 2008, Monterey, California, United States. ⟨hal-00311887⟩

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