Integrated design of mycro-electro-mechanical systems - Collaboration Collaborative Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Strojniški vestnik = Journal of Mechanical Engineering Année : 2006

Integrated design of mycro-electro-mechanical systems

Matthieu Museau
Conception Produit Process
Cédric Masclet
Conception collaborative
CV

Domaines

Génie des procédés Micro et nanotechnologies/Microélectronique Génie mécanique [physics.class-ph]

Matthieu Museau  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-03560015

Soumis le : lundi 7 février 2022-12:10:17

Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:02:32

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Dates et versions

hal-03560015 , version 1 (07-02-2022)

Identifiants

  • HAL Id : hal-03560015 , version 1

Citer

Matthieu Museau, Cédric Masclet. Integrated design of mycro-electro-mechanical systems. Strojniški vestnik = Journal of Mechanical Engineering, 2006, 52(2006) (7-8), pp.506-514. ⟨hal-03560015⟩

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