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Conference papers

Dépôt et caractérisation de couches minces diélectriques La-Ti-O-N

Document type :
Conference papers
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https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00855438
Contributor : Laurent Le Gendre Connect in order to contact the contributor
Submitted on : Thursday, August 29, 2013 - 2:20:51 PM
Last modification on : Wednesday, April 27, 2022 - 3:48:46 AM

Identifiers

  • HAL Id : hal-00855438, version 1

Citation

Yu Lu, Dhafira Benzegoutta, Viet Hung Nguyen, Ratiba Benzerga, Claire Le Paven-Thivet, et al.. Dépôt et caractérisation de couches minces diélectriques La-Ti-O-N. IBAF 2012 : Ion Beam Analysis Francophone - 4ème Rencontre "Analyse par faisceaux d'ions rapides", Dec 2012, Saint-Paul-Lès-Durance, France. ⟨hal-00855438⟩

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