Rutherford backscattering spectrometry analysis of InGaAs nanostructures

Grazia Laricchiuta; Wilfried Vandervorst; Ian Vickridge; Matej Mayer; Johan Meersschaut

doi:10.1116/1.5079520

Article Dans Une Revue Journal of Vacuum Science & Technology A Année : 2019

Rutherford backscattering spectrometry analysis of InGaAs nanostructures

, , (1) , ,

1

Grazia Laricchiuta

Fonction : Auteur

Wilfried Vandervorst

Fonction : Auteur

Ian Vickridge

Fonction : Auteur
PersonId : 13477
IdHAL : ian-vickridge
ORCID : 0000-0002-1817-3378
IdRef : 164664602

Institut des Nanosciences de Paris

Matej Mayer

Fonction : Auteur

Johan Meersschaut

Fonction : Auteur

Domaines

Science des matériaux [cond-mat.mtrl-sci]

Ian Vickridge : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-02323456

Soumis le : lundi 21 octobre 2019-17:12:00

Dernière modification le : mercredi 12 avril 2023-09:50:44

Dates et versions

hal-02323456 , version 1 (21-10-2019)

Identifiants

HAL Id : hal-02323456 , version 1
DOI : 10.1116/1.5079520

Citer

Grazia Laricchiuta, Wilfried Vandervorst, Ian Vickridge, Matej Mayer, Johan Meersschaut. Rutherford backscattering spectrometry analysis of InGaAs nanostructures. Journal of Vacuum Science & Technology A, 2019, 37 (2), pp.020601. ⟨10.1116/1.5079520⟩. ⟨hal-02323456⟩

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