Rapid thermal annealing and titanium silicide formation - Cancéropôle du Grand Est Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Applied physics. A, Materials science & processing Année : 1985

Rapid thermal annealing and titanium silicide formation

Yvette Heyd  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.in2p3.fr/in2p3-00006489

Soumis le : mardi 10 octobre 2000-16:24:42

Dernière modification le : jeudi 11 avril 2024-13:18:11

Fichier non déposé

Dates et versions

in2p3-00006489 , version 1 (10-10-2000)

Identifiants

  • HAL Id : in2p3-00006489 , version 1

Citer

D. Levy, J.P. Ponpon, A. Grob, J.J. Grob, R. Stuck. Rapid thermal annealing and titanium silicide formation. Applied physics. A, Materials science & processing, 1985, 38, pp.23. ⟨in2p3-00006489⟩

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